投資超50億元!全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線投產
2025-10-22
來源:愛集微
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據中電二公司消息,近日,由中電二公司承建的中國蚌埠傳感谷8英寸MEMS晶圓生產線EPC項目首批產品成功下線,標志著全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線、全國首條工藝設備配套齊全的壓電MEMS量產線正式投產。
項目總建設投資達50.6億元,占地約79畝,總建筑面積約6萬平方米。作為國家級重點項目、全部建成投產后,將具備月產3萬片晶圓的能力,成為國內產出最大的MEMS全自動晶圓生產線。
據經開區生態環境分局消息,2024年8月23日,我局受理了《安徽華鑫微納集成電路有限公司8英寸MEMS晶圓生產線項目環境影響報告表》(重新報批),現對該報告全本進行公示。根據公示,該項目為“8英寸MEMS晶圓生產線項目”,建設地點在安徽省蚌埠市經開區中國(蚌埠)傳感谷東側地塊,建設單位為安徽華鑫微納集成電路有限公司。8 英寸 MEMS 晶圓生產線項目由安徽華鑫微納集成電路有限公司投資506175 萬元興建,位于安徽省蚌埠市經開區中國(蚌埠)傳感谷東側地塊,總占地面積約 103000m2,項目分二期建設。
據蚌埠發布報道,2024年10月20日,蚌埠傳感谷八寸線配套生產廢水集中處理站EPC項目順利完成主體結構封頂,正式步入設備安裝及裝飾裝修階段。