上海新陽1400光刻機安裝調(diào)試基本完畢
2022-04-13
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4月12日,上海新陽在投資者互動平臺表示,公司與中芯北方搭建的1400光刻機安裝調(diào)試基本完畢。

另外,上海新陽表示,公司研發(fā)費用投入超2億元,且主要系光刻膠項目研發(fā)和參與的國家重大科技項目研發(fā)費用。其稱,公司半導(dǎo)體產(chǎn)品銷售收入不斷增長,都是公司長期以來關(guān)心關(guān)注研發(fā)和項目推進取得的回報。