加速12英寸大硅片國產化 西安奕斯偉硅產業基地擴產項目開工

6月14日，西安奕斯偉硅產業基地擴產項目于西安市高新區開工，奕斯偉硅產業基地目前擁有一座50萬片/月產能的12英寸硅片工廠，已于2020年7月投產，為多家海內外晶圓廠提供拋光片和外延片。本次擴產項目投產后將進一步提升我國半導體硅產業技術實力，強化集成電路產業鏈綜合競爭力。

近兩年來，受多重因素影響，集成電路產業產能緊俏，作為上游原材料的大硅片需求不斷攀升。然而，我國集成電路產業關鍵原材料尚處于發展初期，硅片產能主要集中于小尺寸，大尺寸自給率低，約95%以上的12英寸主流硅片正片仍依靠進口，國內產能存在巨大缺口。尺寸越大的硅片，其制造難度越高，對原材料純度、硅片平整度、表面顆粒數和金屬殘留量等技術指標的要求就越苛刻。