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        ASML光刻機有多牛

        2022-11-02 來源:互聯網亂侃秀
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        關鍵詞: 光刻機 半導體

        眾所周知,目前所有的芯片制造,均要經過光刻這么一個工藝,所以光刻機是必不可少的半導體設備。

        而光刻機與芯片的工藝是相對應的,比如EUV光刻機用于7nm及以下,DUV光刻機用于7-180nm。還有UV(i-line)光刻機,主要用于0.35um工藝。

        而DUV光刻機又分為ArFi光刻機,用于45-7nm;而ArF Dry用于65nm,還有KrF用于180nm等等。

        目前全球的光刻機廠商,真不多,特別是用于芯片制造的,也就是前道光刻機,全球也就四家,分別是ASML、日本的佳能、尼康、上海微電子。

        其中ASML是最牛的, 特別是EUV光刻機,僅ASML一家廠商能制,可以說ASML卡住了全球先進晶圓廠的脖子。

        但事實上,除了EUV光刻外,ASML在DUV領域的光刻機,也是一頂一的,全球沒有對手。

        如上圖所示,這是機構統計的2021年全球半導體前道光刻機銷售情況表,上面列出了3大巨頭,在各種光刻機上面的銷售數據。

        數據顯示,全球一共售出478臺前道光刻機,被ASML、尼康、佳能瓜分了。其中ASML拿下了其中的309臺,占比為65%,接近三分之二的市場。而尼康為6%,佳能為29%。

        但是在高端EUV光刻機領域,ASML占據了100%的市場,而在次高端的在ArFi和ArF光刻機領域,也分別占據96%和88%的市場。

        至于佳能,尼康,則主要集中在最低端的還有UV(i-line)光刻機領域,在次高端的DUV領域,都表現一般。

        至于國產光刻機,雖然可以用于90nm,但其實晶圓廠們用得非常少,并且主要不是用于前道,也就是晶圓制造這一塊,更多是用于后道,比如封測等領域。

        畢竟光刻機要與其它的產品一起協同工作的,這一塊國產光刻機并不占優,很多晶圓廠在有選擇的情況下,一般不選擇國產,而是選擇與其它設備早就兼容聯調好的國外產品。

        當然,目前全球也在研發其它技術的光刻機,比如多電子束直寫光刻機(MEB)、定向自組裝技術(DSA)、nm壓印技術(NIL)等不同新技術也,希望這些技術有所突破,那么我們就不必依賴ASML了,否則真的太難超越它了。



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