但光刻機(jī)也是多種多樣的，可以按工藝進(jìn)行劃分。7nm及以下的芯片，需要EUV光刻機(jī)，而7nm-45nm，需要ArFi光刻機(jī)，45-65nm需要ArF Dry，而65nm-180nm需要KrF光刻機(jī)，還有i-line光刻機(jī)，用于180nm以上的芯片。
這些光刻機(jī)中，先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，只有ASML能夠生產(chǎn)。甚至用于65nm芯片以下的Arf Dry光刻機(jī)、ArFi光刻機(jī)，也是ASML一家獨(dú)大，占了90%以上的份額。
至于非先進(jìn)的其它的光刻機(jī)，比如KrF、i-line光刻機(jī)等，則有尼康、佳能、上海微電子能夠生產(chǎn)，ASML就并不在意了。
所以要卡住某一家企業(yè)甚至某一個(gè)國(guó)家的芯片產(chǎn)業(yè)，只要卡住ASML就行了，只要ASML不賣光刻機(jī)給對(duì)方，7nm以下的芯片肯定無法制造，甚至65nm及以下的芯片，都會(huì)大受影響。
這不，為了打壓中國(guó)芯，美國(guó)就對(duì)ASML下達(dá)了禁令，禁止EUV光刻機(jī)出口到中國(guó)大陸，后來更是表示，用于14nm以下芯片制造的光刻機(jī)，也不能出口到中國(guó)大陸。
這當(dāng)然對(duì)ASML造成了巨的影響，因?yàn)橹袊?guó)大陸曾一度是ASML最大的營(yíng)收來源。
更重要的是，中國(guó)大陸在大力發(fā)展芯片產(chǎn)業(yè)，需要大量的光刻機(jī)，如果ASML不賣光刻機(jī)到中國(guó)大陸，這個(gè)市場(chǎng)就被別的企業(yè)拿走了。
所以近日，有媒體報(bào)道稱荷蘭外貿(mào)與發(fā)展合作大臣施賴納馬赫爾表示，在向中國(guó)出售芯片設(shè)備的問題上，荷蘭將捍衛(wèi)本國(guó)的經(jīng)濟(jì)利益，“荷蘭不會(huì)一比一照搬美國(guó)的措施，我們會(huì)做出自己的評(píng)估”，而這個(gè)芯片設(shè)備，明顯就是指光刻機(jī)。
事實(shí)上，之前ASML的CEO也表示過，EUV光刻機(jī)暫時(shí)不能賣給中國(guó)大陸，但DUV光刻機(jī)是不受限制的，想賣就賣。而DUV光刻機(jī)包括ArFi光刻機(jī)、ArF Dry光刻機(jī)和KrF光刻機(jī)這三種。
而就當(dāng)前的情況來看，ASML的DUV光刻機(jī)還是在出貨，可見，歐盟其實(shí)也并不是那么的聽美國(guó)的，畢竟這確實(shí)影響到了歐盟以及各企業(yè)的利益了。
