國產90nm的光刻機，究竟能制造多少納米的芯片？

“光刻機”被稱之為傳統芯片制造的工業母機，因為它必不可少，同時光刻機的好壞，精度，決定了芯片的精度、良率等等。

不過大家也清楚，光刻機目前全球只有4家廠商能夠生產，分別是ASML、尼康、佳能、上海微電子，ASML是荷蘭企業，尼康、佳能是日本企業，而上海微電子是中國企業。

如上圖所示，這是4大廠商的光刻機精度。其中用于7nm及以下芯片制造的EUV光刻機，只有ASML能夠生產。

而尼康能搞定高端的7－28nm的AiF＋浸潤式光刻機，但佳能、上海微電子卻還停留在90nm，只能生產低端的光刻機。

不過也有人稱，光刻機所指的精度，并不是指能制造芯片的精度，光刻機可以通過多次曝光，提升分辨率的，那么問題就來了，上海微電子的90nm光刻機，最多能生產多少納米的芯片？

據資料顯示，目前上海微電子的90nm的光刻機，主要用于電源管理芯片、LCD驅動芯片、WiFI芯片、射頻芯片、各類數模混合電路等。

而在精度方面，90nm肯定沒問題的，同時經過兩次曝光，可以得到45nm的芯片，三次曝光最高可以達到22nm左右的水平。

那么能不能四次曝光，五次曝光，將精度提升上去？事實上，在實際使用中，2次曝光就已經很厲害了，像ASML等的光刻機 ，大多也只是進行2次曝光。

因為實踐表示，3次曝光會導致良率大幅度下降，4、5次良率可能會低到沒法想象，晶圓廠們的成本高到沒法承受，不如買一臺更高級光刻機，成本還低一些。

所以，目前國內在努力的研發28nm的光刻機，這樣經過兩次曝光后，可以搞定14nm，至于7nm工藝，那最好還是期待EUV光刻機，用28nm的來曝光三次，良率沒法看。

不過，在整個半導體產業鏈，流傳說一句話，那就是“靠山山倒，靠人人跑，只有自己最可靠”。

所以像光刻機這種東西，只有掌握在我們自己手中，才能避免受制于人，雖然EUV光刻機非常難，但也不得不去攻克。