日本富士膠片或啟動(dòng)EUV光刻膠業(yè)務(wù)，希望在2024年之前獲得10%市占

1月8日消息，有報(bào)道指出，日本富士膠片已正式啟動(dòng) EUV光刻膠業(yè)務(wù)，目標(biāo)在2024年之前獲得全球的10%市占。

富士膠片在生產(chǎn)據(jù)點(diǎn)導(dǎo)入高準(zhǔn)確度的質(zhì)量檢查設(shè)備等，目前已經(jīng)展開(kāi)樣品出貨，計(jì)劃最快在 2021 年的前半開(kāi)始量產(chǎn)。由于 AI 人工智能、IoT 物聯(lián)網(wǎng)以及 5G 通訊的普及，半導(dǎo)體制程也朝著細(xì)微化進(jìn)展。此外，應(yīng)用 EUV 的光刻技術(shù)，也預(yù)估需求量將有所增長(zhǎng)。

富士膠片子公司、從事半導(dǎo)體材料業(yè)務(wù)的富士電子材料公司 (FFEM)，在日本靜岡工廠全新投資約 15 億日?qǐng)A（約人民幣9424萬(wàn)元），安裝了最先進(jìn) EUV 制程用途的半導(dǎo)體材料質(zhì)量評(píng)估設(shè)備。期盼藉著最先進(jìn)檢查設(shè)備的導(dǎo)入，來(lái)提升質(zhì)量并確保供貨穩(wěn)定，要與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的產(chǎn)品作出區(qū)隔，盼能獲得廠商采用。

富士電子材料公司為了研發(fā)生產(chǎn) EUV 光刻膠，包含這回導(dǎo)入的檢查設(shè)備在內(nèi)，一共投資了 45 億日?qǐng)A（約人民幣2.8億）。該公司生產(chǎn) ArF 光刻膠的經(jīng)驗(yàn)，也有助于新產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)。而在目前，日本生產(chǎn) EUV 光刻膠的廠商，有著名的信越化學(xué)工業(yè)等公司。

富士膠片位在美國(guó)的據(jù)點(diǎn)，有進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨液 (CMP Slurry) 的研發(fā)生產(chǎn)。為了提升顯影液純度，該公司也從 2018 年 12 月起的三年時(shí)間，進(jìn)行 100 億日?qǐng)A（約人民幣6.2億元）的投資，要強(qiáng)化半導(dǎo)體材料的競(jìng)爭(zhēng)力。而在疫情影響下，遠(yuǎn)距工作的普及等，都使得半導(dǎo)體材料需求看旺。