一臺EUV光刻機(jī)有45萬個(gè)零件，ASML只生產(chǎn)15%，85%靠采購
眾所周知，EUV光刻機(jī)被人稱之為世界上最精密的機(jī)器，因?yàn)樗苡脕砩a(chǎn)當(dāng)前最先進(jìn)的3nm芯片，是真正的“工業(yè)皇冠上的明珠”。
而從價(jià)格來看話，一臺先進(jìn)制程的EUV光刻機(jī)，可以賣到3～4億美金，比一架波音飛機(jī)都貴，而重量甚至可以達(dá)到180萬噸。
如果要從荷蘭運(yùn)一臺ASML光刻機(jī)到中國，需要4架次的波音747貨機(jī)，還需要40多個(gè)恒溫恒濕專用箱、專業(yè)防震氣墊車來運(yùn)輸，路上還不能出任何一點(diǎn)差錯(cuò)，一出差錯(cuò)，問題就大了，不是損失錢，一臺EUV就像是一臺印鈔機(jī)一樣，是損失了“印鈔”能力。
同時(shí)當(dāng)這臺機(jī)器運(yùn)到目的地后，需要專業(yè)的運(yùn)輸車來運(yùn)送，還需要一組工程師，到現(xiàn)場進(jìn)行安裝調(diào)試。
而一旦調(diào)試好之后，這臺EUV光刻機(jī)一年可以穩(wěn)定運(yùn)行超過98％的時(shí)間，每年停機(jī)檢修工作只需要7天左右，每一個(gè)部件正常工作時(shí)間至少要達(dá)到3萬小時(shí)以上。
可見，ASML的光刻機(jī)，確實(shí)牛，不是吹的，這種精密程度，說全球最精密，一點(diǎn)都沒有吹牛。
而一臺這樣的EUV光刻機(jī)，需要的零件不是網(wǎng)上說的10萬個(gè)，而是超過45萬個(gè)。
這45萬個(gè)零件中，ASML大約只生產(chǎn)了其中的15％，另外的85％是ASML從全球的供應(yīng)鏈那里整合而來的。
在光刻機(jī)這一領(lǐng)域，ASML的最大本事，其實(shí)并不是什么自研技術(shù)，其實(shí)是組裝光刻機(jī)，將這45萬個(gè)零件，組裝成一臺全球最精密的儀器，讓他全年無休的工作，不需要休息，這就是ASML的本事。
畢竟一臺光刻機(jī)，在制造芯片時(shí)，鏡頭是不動(dòng)的，而晶圓是要在工作臺上是在不斷移動(dòng)的，如果控制不好，芯片就沒法制造了。而EUV光刻機(jī)內(nèi)，這種移動(dòng)的精度要達(dá)到1nm內(nèi)，也就是“套刻精度”（Overlay）＜1nm。
目前全球也就ASML能夠達(dá)到，像尼康、佳能的光刻機(jī)，還達(dá)不到這種精度，所以他們也無法推出EUV光刻機(jī)。
至于ASML的EUV核心技術(shù)，其實(shí)還是來源于美國，當(dāng)年美國的英特爾發(fā)起了EUV LLC聯(lián)盟，集合了英特爾、ASML、AMD、摩托羅拉等美國科技巨頭，還有幾大美國實(shí)驗(yàn)室，集合幾百位頂級科學(xué)家的力量，投入了幾億美元，驗(yàn)證了EUV光刻機(jī)的可行性后，將技術(shù)只交給了ASML，讓ASML來研發(fā)。
而ASML則拉上蔡司等供應(yīng)鏈，不斷的研究，終于讓理論變成現(xiàn)實(shí)，有了現(xiàn)在的EUV光刻機(jī)，而尼康、佳能沒能得到美國的EUV技術(shù)，最終還停留在DUV上。
可見，組裝也是核心科技，就像歐洲的工程師曾吹牛的，給中國光刻機(jī)圖紙，也未必造得出光刻機(jī)出來，還真是如此，就算拿到45萬個(gè)零件，我們也未必能夠造出這種精密的機(jī)器來，需要積累、經(jīng)驗(yàn)，以及各種光學(xué)、力學(xué)、物理、材料能力等等。
所以國產(chǎn)光刻機(jī)加油吧，沒有什么彎道超車的方法，把基礎(chǔ)打牢，與供應(yīng)鏈合作，靠自己生產(chǎn)45萬個(gè)零件，不太可能的，只有大家一起一步一步走，才有可能追上，想要彎道超車，說不定會翻車。
