重磅！ASML的EUV光刻機(jī)中，全球唯一激光器供應(yīng)商，落戶深圳

2023-05-26 來(lái)源：只談數(shù)碼科技

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眾所周知，目前全球僅有一家廠商，能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)，它就是荷蘭的ASML。

而之所以全球僅此一家，這是因?yàn)锳SML將很多關(guān)鍵的廠商捆綁在了一起，比如德國(guó)光學(xué)公司蔡司（Zeiss），再比如美國(guó)的Cymer，再比如德國(guó)的通快集團(tuán)（TRUMPF）等。

ASML通過(guò)投資、收購(gòu)、占股，建立研究中心等等方式，將這些廠商綁在了自己的戰(zhàn)車上，而這些廠商，可能是全球唯一能夠生產(chǎn)這些產(chǎn)品的廠商，所以最終全球僅ASML一家能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)。

不過(guò)，近日，ASML的一家關(guān)鍵供應(yīng)鏈，跑到中國(guó)深圳來(lái)建廠了，其深圳子公司落戶寶安中德（歐）產(chǎn)業(yè)示范園。

這家廠商就是德國(guó)的通快集團(tuán)（TRUMPF），它是ASML的EUV光刻機(jī)中，全球唯一一家激光源供應(yīng)商。

TRUMPF的產(chǎn)品在EUV光刻機(jī)中，有多重要？先聽(tīng)我說(shuō)一下EUV光刻機(jī)的原理，大家就懂了。

EUV光刻機(jī)的原理，說(shuō)起來(lái)很簡(jiǎn)單，核心是三大系統(tǒng)，EUV紫外線光源系統(tǒng)、物鏡系統(tǒng)、工作臺(tái)系統(tǒng)。

具體的過(guò)程是利用激光器激發(fā)出13.5nm波長(zhǎng)的極紫外線，然后經(jīng)過(guò)矯正后形成一束可控的光，再將這一束光投射到光掩膜臺(tái)后，再經(jīng)過(guò)物鏡投射到曝光臺(tái)，最后在涂了光刻膠的硅晶圓上蝕刻出電路。

其中EUV紫外線光源系統(tǒng)是如何得到的，是用30千瓦功率的二氧化碳激光器轟擊錫（Sn）金屬液滴，將其蒸發(fā)成等離子體，最后獲得13.5nm波長(zhǎng)的EUV光線。

其中這個(gè)30千瓦的二氧化碳激光器就是TRUMPF提供的，全球僅此一家。

別小看了這個(gè)二氧化碳激光器，它有457,329個(gè)部件，系統(tǒng)內(nèi)的線纜長(zhǎng)度高達(dá)7,322米，重量更是達(dá)到了17,090千克，是EUV光刻機(jī)中，最重要的核心元件之一。

如今TRUMPF跑到中國(guó)來(lái)建廠，意圖很明顯，那就是看好中國(guó)的激光市場(chǎng)，甚至更長(zhǎng)遠(yuǎn)一點(diǎn)來(lái)看，看好中國(guó)光刻機(jī)市場(chǎng)，未來(lái)有可能和中國(guó)合作造出EUV光刻機(jī)。