ASML真的慌！佳能繞開EUV，5nmNIL光刻機(jī)出貨，可惜不賣給中國(guó)

眾所周知，在芯片光刻機(jī)領(lǐng)域，有4大廠商，分別是ASML、佳能、尼康、上海微電子。

其中ASML占了85%+的份額，佳能、尼康合計(jì)占了15%左右的份額，至于上海微電子，其實(shí)就是打醬油而已，份額接近于0%。

當(dāng)然，最重要的是，用于7nm以下的EUV光刻機(jī)，只有ASML能生產(chǎn)，份額占了100%。

為了壟斷EUV光刻機(jī)，ASML與全球5000多家廠商達(dá)成合作，將一些關(guān)鍵技術(shù)/公司，買的買，捆綁的捆綁，讓這些核心技術(shù)，無法向其它廠商供應(yīng)，所以ASML在EUV領(lǐng)域，連不擔(dān)心其它廠商有突破。

這也導(dǎo)致其它光刻機(jī)廠商，走不通EUV光刻機(jī)這條路，只能換道，比如佳能換道NIL納米壓印技術(shù)方向，俄羅斯押X射線方向，美國(guó)一些廠商，則押BLE電子束方向，歐洲一些廠商押注DSA自生長(zhǎng)方向。

而近日，終于傳出了重磅消息，那就是佳能的NIL光刻機(jī)有了重大突破，佳能（Canon）公司發(fā)布新聞稿稱，正式開始銷售芯片生產(chǎn)設(shè)備 FPA-1200NZ2C，這種光刻設(shè)備，采用的是NIL納米壓印技術(shù)，可以制造 5 nm 芯片。

而這也是全球第一款不使用EUV技術(shù)，就能夠規(guī)模制造5nm芯片的光刻技術(shù)，據(jù)稱設(shè)備成本，以及制造芯片的成本，遠(yuǎn)比EUV光刻技術(shù)低很多。

納米壓印的原因，就像印刷書本一樣，先刻一個(gè)電路板的章子，然后再印到硅晶圓上，目前這套設(shè)備，可以應(yīng)用于最小 14 平方毫米的硅晶圓，從而可以生產(chǎn)相當(dāng)于 5nm 工藝的芯片。

佳能表示，未來NIL可以實(shí)現(xiàn)2nm芯片的制造，不再需要EUV光刻機(jī)。

而關(guān)于NIL納米壓印，之前SK 海力士和鎧俠等存儲(chǔ)芯片制造商曾嘗試過使用，不過當(dāng)時(shí)的精度是15nm以上，且當(dāng)時(shí)效果不太好，良率低。

不知道這次佳能的新設(shè)備如何？很明顯，如果佳能的NIL光刻機(jī)，真的能夠達(dá)到5nm，且率良不錯(cuò)，那絕對(duì)可以打破ASML在EUV光刻機(jī)上的壟斷，大家進(jìn)入5nm時(shí)，不一定非得買ASML的設(shè)備了。

不過，大家要注意的是，佳能是不可能將這設(shè)備賣給中國(guó)大陸的，畢竟日本有針對(duì)中國(guó)芯片的禁令，14nm以下的設(shè)備，不能賣的，所以我們還得自研，日本廠商也一樣靠不住。