ASML夠意思！2024年，我們不會(huì)缺浸潤式DUV光刻機(jī)
眾所周知，2024年剛開如，靴子就落地，ASML表態(tài)稱自己的兩張?jiān)S可證被吊銷了，涉及的光刻機(jī)型號(hào)是NXT:2050i和NXT:2100i，ASML稱，“可能會(huì)對(duì)少數(shù)客戶帶來影響”。
于是大家一時(shí)間就想到，中國大陸肯定買不到這兩種最先進(jìn)的光刻機(jī)了，那么可能會(huì)對(duì)中國大陸的先進(jìn)工藝造成一定的影響。
這么想是有道理的，因?yàn)橐恢币詠砻绹慕睿透鞣N針對(duì)中國，2019年禁了EUV光刻機(jī)，后來在2023年，將高端的浸潤式DUV光刻機(jī)也禁了。
按照業(yè)內(nèi)人士的說法，浸潤式DUV光刻機(jī)，采用193nm波長光源，經(jīng)過水的折射，等效于134nm，再借助多重曝光等技術(shù)，能生產(chǎn)7nm制程芯片，甚至理論上能生產(chǎn)5nm芯片。
而目前國產(chǎn)光刻機(jī)，官宣的還還處于90nm工藝，目前我們的實(shí)際水準(zhǔn)，其實(shí)達(dá)到了至少7nm工藝，所以這種浸潤式DUV光刻機(jī)，不可或缺的。
不過，理論上雖然如此，但由于ASML在2023年還是夠意思的，所以在2024年我們肯定是不缺浸潤式DUV光刻機(jī)的，甚至未來3-5年可能都不會(huì)缺。
一是目前被吊銷的許可證，其實(shí)應(yīng)該早在2023年9月1日就要被吊銷的，但在ASML的努力，以及多方斡旋之下，拖了一個(gè)季度。
二是吊銷的還只有NXT:2050i和NXT:2100i這兩款，目前ASML在售的浸潤式DUV光刻機(jī)一共有4款，還有NXT:2000i和NXT:1980Di這兩款。
如下圖所示，這4款光刻機(jī)的分辨率是一樣的，只是產(chǎn)能不同，所以實(shí)際上都能夠?qū)崿F(xiàn)7nm，甚至理論上5nm的。
三是2023年ASML很夠意思，努力配合中國大陸客戶的要求，在禁令生效之前，努力“搶運(yùn)”光刻機(jī)。
2023年搶的有多猛，給大家兩組數(shù)據(jù)對(duì)比一下就明白了，2022年中國從ASML進(jìn)口的光刻機(jī)數(shù)量約為100臺(tái)，金額約為21億歐元（約170億元）。
而2023年1-11月，中國從ASML進(jìn)口的光刻機(jī)就超過200臺(tái)，金額超過500億元，已經(jīng)是去年的3倍了。
ASML還稱，2023年基本上將欠中國客戶的訂單交付了，看到這里估計(jì)大家明白了，ASML顯然將光刻機(jī)產(chǎn)能中的很大一部分，優(yōu)先調(diào)配給了中國客戶，這還不夠意思？
要知道現(xiàn)在光刻機(jī)只是全球緊缺貨物，晶圓廠們都在排隊(duì)搶，ASML能在這樣的情況之下，將產(chǎn)能向中國大陸客戶傾斜，殊為不易。
所以，在ASML的努力之下，2024年，我們肯定是不缺浸潤式DUV光刻機(jī)，高端的去年已經(jīng)買到了很多，相對(duì)低端一點(diǎn)的， 現(xiàn)在還能買，根本就不用發(fā)愁，足夠用幾年了。
另外，從芯片發(fā)展來看，芯片的“制程”不能無限制縮小，線寬從28nm制程之后，就基本沒有再提升，所謂的5nm，并不是指芯片的最小線寬達(dá)到了5nm，而是借助架構(gòu)和工藝的提升，實(shí)現(xiàn)了“同5nm芯片一樣的能效”。
所以，當(dāng)我們?cè)O(shè)計(jì)改進(jìn)，架構(gòu)，封裝技術(shù)改進(jìn)，就算用這個(gè)DUV光刻機(jī)，未必不能制造出媲美3nm工藝的芯片來，大家從更長遠(yuǎn)一點(diǎn)來看，也不用急。
更何況，目前技術(shù)不斷發(fā)展，制造先進(jìn)的芯片，也不只有光刻這一條路，還有納米壓印、電子束光刻、DSA自生長等技術(shù)，均處于爆發(fā)前沿了，說不定這個(gè)禁令，倒逼中國走出另外一條路來。
