臺積電美國新廠揭密 川流不息“銀色高速公路”曝光

臺積電上傳美國亞利桑那州新廠內(nèi)部運(yùn)作影片，讓外界一窺這座北美最先進(jìn)的晶圓制造基地神秘面紗，當(dāng)中不僅有ASML造價(jià)昂貴的Twinscan NXE極紫外光（EUV）微影設(shè)備，在廠區(qū)天花板川流不息、運(yùn)送晶圓的載具“天車”形成的“銀色高速公路”，更是一大吸睛亮點(diǎn)。

臺積電在這段長達(dá)2分21秒的影片中，為美國新廠大揭密，秀出數(shù)百臺高科技設(shè)備井然有序地生產(chǎn)芯片，鎮(zhèn)廠之寶無疑是ASML的Twinscan NXE極紫外光微影設(shè)備，用于產(chǎn)生英偉達(dá)Blackwell B300等高端處理器中最復(fù)雜的電路。

這段影片讓外界可以見到臺積電這座名為Fab 21的一期廠區(qū)內(nèi)部，影片一開始顯示的是一條穿越無塵室的路徑，室內(nèi)以黃色照明為主，這種燈光能過濾較短波長的光線，防止光刻機(jī)意外曝光。目前Fab 21正在逐步提升采4nm、5nm制程的芯片制造能力。

接著畫面出現(xiàn)所謂的“銀色高速公路”，即臺積電的自動化物流搬運(yùn)系統(tǒng)，由懸掛式軌道組成，用來運(yùn)送裝載12英寸晶圓的前開式晶圓傳送盒。畫面中可見數(shù)百個(gè)晶圓傳送盒同步移動，展現(xiàn)晶圓在晶圓廠內(nèi)精密且高效率的物流運(yùn)作，這對于在高產(chǎn)能制造環(huán)境下維持流程時(shí)序非常重要。

這條“銀色高速公路”即業(yè)界俗稱的“天車”，其正式名為“OHT空中走行式無人搬運(yùn)車（Overhead Hoist Transfer）”，是一種高架搬送系統(tǒng)，它能有效地利用廠房立體空間，在不占用人員走道的前提下，將無塵室內(nèi)的空間使用率最大化。

臺積電2021年時(shí)透露，當(dāng)時(shí)廠區(qū)內(nèi)的天車一天行走的距離，就可以繞地球20圈。這個(gè)距離大約等于從中國臺灣最北端至最南端走2,000次。隨著美日等地新廠投產(chǎn)，臺積電天車的數(shù)量大幅增加。