投資超50億元！全國(guó)首條8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)投產(chǎn)

據(jù)中電二公司消息，近日，由中電二公司承建的中國(guó)蚌埠傳感谷8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)EPC項(xiàng)目首批產(chǎn)品成功下線(xiàn)，標(biāo)志著全國(guó)首條8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)、全國(guó)首條工藝設(shè)備配套齊全的壓電MEMS量產(chǎn)線(xiàn)正式投產(chǎn)。

項(xiàng)目總建設(shè)投資達(dá)50.6億元，占地約79畝，總建筑面積約6萬(wàn)平方米。作為國(guó)家級(jí)重點(diǎn)項(xiàng)目、全部建成投產(chǎn)后，將具備月產(chǎn)3萬(wàn)片晶圓的能力，成為國(guó)內(nèi)產(chǎn)出最大的MEMS全自動(dòng)晶圓生產(chǎn)線(xiàn)。

據(jù)經(jīng)開(kāi)區(qū)生態(tài)環(huán)境分局消息，2024年8月23日，我局受理了《安徽華鑫微納集成電路有限公司8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》（重新報(bào)批），現(xiàn)對(duì)該報(bào)告全本進(jìn)行公示。根據(jù)公示，該項(xiàng)目為“8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線(xiàn)項(xiàng)目”，建設(shè)地點(diǎn)在安徽省蚌埠市經(jīng)開(kāi)區(qū)中國(guó)（蚌埠）傳感谷東側(cè)地塊，建設(shè)單位為安徽華鑫微納集成電路有限公司。8 英寸 MEMS 晶圓生產(chǎn)線(xiàn)項(xiàng)目由安徽華鑫微納集成電路有限公司投資506175 萬(wàn)元興建，位于安徽省蚌埠市經(jīng)開(kāi)區(qū)中國(guó)（蚌埠）傳感谷東側(cè)地塊，總占地面積約 103000m2，項(xiàng)目分二期建設(shè)。

據(jù)蚌埠發(fā)布報(bào)道，2024年10月20日，蚌埠傳感谷八寸線(xiàn)配套生產(chǎn)廢水集中處理站EPC項(xiàng)目順利完成主體結(jié)構(gòu)封頂，正式步入設(shè)備安裝及裝飾裝修階段。