晶盛機(jī)電12英寸單晶爐傳出利好：硅片廠生產(chǎn)忙碌 國產(chǎn)設(shè)備驗(yàn)證要“再等等”

日前，晶盛機(jī)電通過官方微信公眾號(hào)發(fā)布消息，晶盛機(jī)電晶體實(shí)驗(yàn)室自主研發(fā)的國內(nèi)首臺(tái)12英寸硬軸直拉硅單晶爐成功生長出首顆12英寸硅單晶。

消息稱，這是繼2020年8月國內(nèi)首臺(tái)8英寸硬軸直拉爐生長出8英寸硅單晶之后，又一次在半導(dǎo)體級(jí)硅單晶生長裝備上取得的重要技術(shù)進(jìn)展，為國內(nèi)大硅片行業(yè)技術(shù)升級(jí)提供了裝備保障。

記者今日聯(lián)系了晶盛機(jī)電，公司內(nèi)部人士表示，其暫不清楚12英寸硬軸直拉硅單晶爐是否已經(jīng)對(duì)外銷售。

晶盛機(jī)電7月19日披露的調(diào)研紀(jì)要顯示，公司完善了以單晶硅生長、切片、拋光、外延四大核心裝備為主的半導(dǎo)體硅材料設(shè)備體系，目前基本實(shí)現(xiàn)8英寸晶片端長晶到加工的全覆蓋，且已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)和批量出貨；12英寸單晶硅生長爐及部分加工設(shè)備已實(shí)現(xiàn)批量銷售，其他加工設(shè)備也陸續(xù)客戶驗(yàn)證中。

“半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化是大勢(shì)所趨，但半導(dǎo)體設(shè)備的驗(yàn)證周期一般在一年及以上，因此這一塊業(yè)務(wù)會(huì)是一個(gè)持續(xù)放量的過程”，晶盛機(jī)電內(nèi)部人士向記者講到。

從下游市場(chǎng)看，當(dāng)前晶圓市場(chǎng)需求維持高景氣，全球晶圓廠數(shù)量持續(xù)增加。根據(jù)ICInsight數(shù)據(jù)，2018年全球晶圓產(chǎn)能為1945萬片/月，預(yù)計(jì)到2022年全球晶圓產(chǎn)能將上升至2391萬片/月，年復(fù)合增長率為5.3%。

在此背景下，國內(nèi)半導(dǎo)體硅片廠商正在醞釀新一輪的擴(kuò)產(chǎn)潮，包括滬硅產(chǎn)業(yè)、超硅半導(dǎo)體、中環(huán)半導(dǎo)體、立昂微電子、山東有研等廠商均有規(guī)劃產(chǎn)能擴(kuò)建，其中滬硅產(chǎn)業(yè)12英寸產(chǎn)品產(chǎn)能在2020年底達(dá)到20萬片/月，目前產(chǎn)能在持續(xù)的裝機(jī)提升中，預(yù)計(jì)2021年年底可以達(dá)到30萬片/月。

西部證券在此前發(fā)布的研報(bào)中指出，半導(dǎo)體硅片制造屬于典型的資產(chǎn)和技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè)，半導(dǎo)體硅片廠的建設(shè)成本中設(shè)備投資大約占總投資的70%，而在設(shè)備投資中，拉晶、切片、倒角、研磨等對(duì)晶體直接加工的設(shè)備投資又占一半以上的比例，可見晶體加工設(shè)備的市場(chǎng)空間十分可觀。

也需要看到的是，當(dāng)前國內(nèi)半導(dǎo)體硅片設(shè)備，尤其是12寸硅片設(shè)備的整體國產(chǎn)化依舊不高，核心供應(yīng)商集中在日本、德國、美國等國家廠商。不過這也意味著，隨著國內(nèi)半導(dǎo)體硅片產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，硅片生產(chǎn)設(shè)備國產(chǎn)化進(jìn)程有望進(jìn)一步加快。

一位半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的資深人士告訴記者，國外設(shè)備的交期很長，（下游廠商）對(duì)國內(nèi)設(shè)備的替換意愿也相當(dāng)高。“但目前這個(gè)階段生產(chǎn)太忙了，設(shè)備不能掉鏈子，因此關(guān)鍵的產(chǎn)線還是想用國外的，等生產(chǎn)不太忙，會(huì)加速驗(yàn)證國產(chǎn)設(shè)備，最終還是要用國產(chǎn)的（設(shè)備）”。

“半導(dǎo)體（廠商）不可能在忙的時(shí)候給你驗(yàn)證國產(chǎn)設(shè)備”，該人士進(jìn)一步補(bǔ)充道。

目前國內(nèi)主要生產(chǎn)半導(dǎo)體單晶硅生長爐的公司有京運(yùn)通、晶盛機(jī)電、天通股份等。

記者了解到，京運(yùn)通的半導(dǎo)體設(shè)備有區(qū)熔單晶硅爐等產(chǎn)品，“（半導(dǎo)體設(shè)備）業(yè)務(wù)規(guī)模不大，公司去年約40億的收入，占比可能不到1000萬”。

天通股份今年6月在投資者互動(dòng)平臺(tái)上披露，12寸半導(dǎo)體單晶爐軟件及控制系統(tǒng)開發(fā)成功，在頭部企業(yè)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證初見成效。另外公司今年4月份也有向滬硅產(chǎn)業(yè)發(fā)貨一臺(tái)截?cái)鄼C(jī)。

而晶盛機(jī)電除研發(fā)半導(dǎo)體裝備外，也在推進(jìn)半導(dǎo)體輔料耗材。晶盛機(jī)電在調(diào)研紀(jì)要中稱，公司半導(dǎo)體石英坩堝在研發(fā)和市場(chǎng)開拓方面取得積極進(jìn)展，已向客戶批量銷售32英寸合成坩堝，并研發(fā)了36英寸石英坩堝。目前公司的半導(dǎo)體石英坩堝在大陸及臺(tái)灣市場(chǎng)份額增長較快，并爭(zhēng)取向海外其他市場(chǎng)開拓業(yè)務(wù)。

截至2021年3月31日，晶盛機(jī)電未完成晶體生長設(shè)備及智能化加工設(shè)備合同總計(jì)104.5億元，其中未完成半導(dǎo)體設(shè)備合同5.6億元（以上合同金額均含增值稅）。