晶瑞電材又購得光刻機(jī) KrF光刻膠量產(chǎn)導(dǎo)入已排上日程

12月8日，晶瑞電材對外披露，公司近期已購得KrF光刻機(jī)一臺，可用于KrF光刻膠的曝光測試，同時公司KrF光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。此前，晶瑞電材已經(jīng)購得用于負(fù)膠、g線、i線、ArF等4臺光刻機(jī)，再加之此次購得的KrF光刻機(jī)，晶瑞電材已經(jīng)到位5臺光刻機(jī)。

目前，晶瑞電材KrF光刻膠已經(jīng)完成中試，進(jìn)入了客戶測試驗證階段。這意味著，此次晶瑞電材新購得深紫外線KrF光刻機(jī)后，可以快速投建其KrF光刻膠產(chǎn)線，加速其KrF光刻膠量產(chǎn)化進(jìn)程，也是其KrF光刻膠量產(chǎn)并導(dǎo)入晶圓廠的最后一步。