氣體污染原因揭曉 臺積電晶圓18廠影響如何？

臺積電位于南科的晶圓18廠上個(gè)月底驚傳遭到氣體污染，外界一度憂心是否會(huì)影響蘋果iPhone年度新機(jī)的出貨進(jìn)度。不過，目前看來，氣體污染事件的影響極其輕微，主要是因?yàn)檫@個(gè)化學(xué)反應(yīng)的關(guān)系。

臺積電位于南科的晶圓18廠上周傳出疑因氧氣供應(yīng)受到污染，導(dǎo)致部分產(chǎn)線停擺。由于晶圓18廠是臺積電最先進(jìn)的5納米制程生產(chǎn)基地，大客戶正是美商蘋果，而8月又將進(jìn)入iPhone處理器A15的生產(chǎn)旺季，引起市場高度關(guān)注后續(xù)影響。

當(dāng)時(shí)，臺積電就針對氣體污染事件表示，已實(shí)時(shí)調(diào)度其他氣體供應(yīng)。為確保生產(chǎn)質(zhì)量無虞，正進(jìn)行嚴(yán)密后續(xù)作業(yè)；這事件目前已知對營運(yùn)并無造成顯著影響，后續(xù)將持續(xù)追蹤。目前看來，該事件確實(shí)影響極其輕微。

據(jù)了解，當(dāng)時(shí)晶圓18廠被污染，主要是因?yàn)榘雽?dǎo)體制程必備的氧氣，被混入了氬氣（Ar2）。氬氣是一種無色無味的惰性氣體，一般無害，但在高濃度下，會(huì)使人窒息。

這次晶圓18廠的氧氣雖然遭到氬氣污染，但因?yàn)闅鍤獠⒉粎⑴c化學(xué)反應(yīng)，所以對生產(chǎn)過程沒有影響，工廠端只需要清洗儲存槽即可。

法人認(rèn)為，這起氣體污染事件，將不影響臺積電8月營收表現(xiàn)，也不會(huì)干擾蘋果iPhone新機(jī)用的處理器A15生產(chǎn)。

氬氣常用于半導(dǎo)體、太陽能、顯示器和LED制造商，最常見的用途是為大型硅晶體的生長或大型整塊硅晶鑄塊的生產(chǎn)，提供一種惰性環(huán)境；晶體或晶塊經(jīng)切割后制成太陽能和半導(dǎo)體行業(yè)所使用的硅片。

而太陽能芯片生產(chǎn)是氬氣消耗量最大的應(yīng)用。氬氣還可用于吹掃電子工藝設(shè)備，以免較高溫度條件下發(fā)生有害化學(xué)反應(yīng)。